在半导体芯片制造过程中,超纯水广泛应用于清洗、蚀刻、沉积、光刻等多个关键步骤,其水质纯净度直接影响芯片的性能、良率与可靠性。作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,高频科技持续深耕超纯工艺,构建了以“超纯水质、供水稳定、高效节水”为核心的三大技术优势,为下游半导体客户提供可靠的产品与服务,赢得了行业的广泛认可。
超纯水质:为芯片生产提供纯净保障
随着芯片线宽持续缩小、集成度不断提高,对超纯水纯度的要求也日益严苛。目前,半导体行业对超纯水中电阻率、微粒子、TOC(总有机碳)、DO(溶解氧)等关键指标的管控标准,甚至已高于我国电子级超纯水的,国家标准。这一趋势使得半导体超纯水制备工艺面临更为严峻的技术挑战。
高频科技在集成电路领域深耕超过20年,是国内最早从事芯片领域超纯水系统业务的企业之一,亦是国内首家能够支持12英寸14nm芯片产线的超纯水系统供应商。凭借持续的研发投入与工程实践,高频科技不断精进超纯水工艺,已具备ppt级(万亿分之一)超纯水的制备与稳定供应能力,水质趋近,纯度,为芯片制造提供可靠的“水保障”。
供水稳定:保障生产连续高效运行
对于半导体生产而言,超纯水的稳定供应是确保生产线连续运转的关键。高频科技积累了丰富的系统运维经验,将丰富的专家经验与先进数字化技术融合,通过故障诊断、设备管理、水质监测、系统优化、专家指导等多元化运维服务,确保超纯水系统运行的稳定性以及产水水质的一致性。
先进的超纯水配送系统,是确保超纯水水质稳定交付至半导体机台的关键环节。高频科技的超纯水配送系统采用闭环循环设计,通过变频增压泵与比例调节阀的协同控制,实时维持管道压力稳定与高流速,有效防止死水形成和微生物滋生。该系统使用高稳定性管道,极大抑制了离子和有机物的析出,确保超纯水在输送过程中不受二次污染,稳定满足半导体机台用水需求。
高效节水:助力半导体行业可持续发展
节水是全社会的目标,对“耗水大户”半导体行业来说尤为如此。近年来,为应对水资源短缺、生产成本上升等挑战,众多半导体企业纷纷通过与供应商合作等方式,加快技术创新,提高水资源利用效率。
在这一背景下,高频科技深耕废水处理和回用水技术,能够对制程机台中产生的30余类废水(如纯水再生浓水、低浓度氢氟酸废水、研磨废水等)进行精细化分流与高效回用,并依托先进的超纯水系统设计与工艺能力,实现整厂用水回收率高达90%,在保障超纯水品质的同时显著降低水耗与成本,助力半导体行业可持续发展。
凭借在超纯水产品与服务领域的突出表现,高频科技已与众多国内外半导体行业知名客户建立合作关系,在芯片、液晶显示、光伏等多领域树立了良好口碑。展望未来,高频科技将继续围绕超纯工艺技术开展研发创新,不断优化超纯水产品与服务,持续提升超纯水质、供水稳定与高效节水能力,为更多半导体及相关高端制造行业客户提供更优质的超纯水解决方案,助力行业高质量发展。